超高純薄膜沉積流量計

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公司名稱格里機電（無錫）有限公司
品牌
型號
所在地無錫市
廠商性質其他
更新時間2026/3/6 0:34:08
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公司介紹主營產品

GRYLLS（音譯：格里爾斯）團隊始建于2004年，是一家專業從事精確科學流體測控設備設計、制造、和方案的解決供應商。

當人類觀察這個世界時，會發現自己生活在一個充滿各種流體的世界。人們的生活被流體籠罩，人類自身也離不開流體。鷹擊長空、魚翔淺底；許許多多的現象都與流體有關。生活中的很多事物都在經意或不經意間巧妙地掌握和運用了流體力學的原理。人類為了更好的掌握流體的運動過程，需要對其進行精確科學的觀測。而測量、控制這些氣體與液體對于當今社會與工業的發展*，也可以說是人類永恒的課題；以此為使命、我們創立了GRYLLS。

自GRYLLS創立以來，始終以“Accurate scientific fluid、精確的科學流體”為企業理念，潛心鉆研微小流量領域的測量與控制。經過18年的刻苦鉆研、經驗積累、反復打磨，不斷的更新換代升級優化，從當初的胚胎狀態優化到工業產品的精益求精，GRYLLS一直與行業同行，在工程部和研發部，多位骨干技術人員孜孜不倦的配合努力下，GRYLLS先后研發出具有高耐壓屬性5900系列熱式原理、快速反應6600系列差壓原理、在介質壓力、密度、粘度、電導率和溫度變化的情況下仍具有超高精度8100系列科里奧利原理的質量流量計及質量流量控制器。GRYLLS產品流量、壓力、溫度適用范圍寬廣，可選擇性強。目前已經廣泛應用于工業氣體、石油、化工、醫療、電子及微電子、半導體、太陽能光伏、生物醫藥、標準檢測、燃料電池、食品飲料、體外診斷、工業生產等等方面。

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質量流量計，質量流量控制器，氣體質量流量計，氣體質量流量控制器

產品簡介在線詢價

高精度、高穩定性、低泄漏、耐腐蝕、超高純氣體、快速響應、數字顯示、RS485 通訊、MFC 質量流量控制、CVD/PECVD/ALD 適用、半導體級、防爆、長壽命

超高純薄膜沉積流量計產品信息

高精度、高穩定性、低泄漏、耐腐蝕、超高純氣體、快速響應、數字顯示、RS485 通訊、MFC 質量流量控制、CVD/PECVD/ALD 適用、半導體級、防爆、長壽命，

超高精度 ±0.2%~±0.5% FS，重復性≤±0.1%，精準匹配 CVD/PECVD/ALD 薄膜沉積工藝，保障膜厚均勻與批次一致性。

超高純氣體適配流道316L EP/BA 級電解拋光無吸附、無殘留；泄漏率≤1×10?? atm?cc/s，滿足半導體 ppb 級超高純氣體輸送要求。

強耐腐蝕設計關鍵部件選用哈氏合金兼容硅烷、氨氣、氟化物、氯化物等強腐蝕特氣，延長設備壽命、降低維護成本。

微小流量穩定控制支持sccm 級微量控制，低流量不抖動、不斷流，適配薄膜沉積、原子層沉積等精密成膜工藝。

毫秒級快速響應響應時間 **≤1ms**，快速跟隨工藝設定，抑制壓力 / 溫度波動，提升成膜效率與良率。

全金屬密封?安全可靠焊接 / VCR 金屬密封結構，無老化、無泄漏，適配易燃易爆 / 有毒特種氣體，滿足半導體安全標準。