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雙軌自動涂源機

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產品簡介

產品介紹：1）控制系統由PLC觸摸屏構成，故障率低，可靠性強，操作簡單，易于維護

詳細介紹

產品介紹：

1）控制系統由PLC觸摸屏構成，故障率低，可靠性強，操作簡單，易于維護。

2）傳片方式通過導軌絲桿傳動。

3）主軸使用伺服電機，RS485通訊精確控制轉速。

4）采用蠕動泵滴源，保證了定量滴乳膠源，可節省擴散源用量。

5）設置靈活，多功能。通過一鍵設置，可將自動涂源轉換為手動涂源。

7）熱板控溫方式為溫控表，自帶超溫保護系統，熱板均勻性好。熱板采用頂針升降，方便晶圓烘烤。

轉速 5000RPM

轉速精準度 ≤1-4%RPM

涂源滴膠手臂控制步進馬達

滴膠頭位置精準 ≤0.2mm

該設備為全自動上下料涂源設備，主要應用于3-6寸晶圓涂源、烘干，采用標準片盒收放片，自動運行。該設備為雙軌道形式，上料、涂源、烘干、取料。

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